Merkmale: Die Pumpe wurde entwickelt für saubere Prozesse, die trockenes und kohlenwasserstofffreies Vakuum erfordern. Die Spindeln der Schraubenpumpe laufen berührungslos und damit sowohl abrieb- als auch verschleißfrei. Die Pumpe arbeitet vibrationsarm und eignet sich somit für schwingungsempfindliche Anwendungen. Obwohl die Pumpe speziell für Prozesse im Vakuumbereich bis 10–3 mbar gedacht ist, kann sie auch über längere Zeit bei höheren Drücken betrieben werden. So lassen sich auch größere Anlagen von Atmosphärendruck bis in den Vakuumbereich um 10–3 mbar ohne Wechsel der Vakuumpumpe evakuieren. Da keine Verschleißteile zu tauschen sind und lästige Ölwechsel entfallen, ist ein unterbrechungsfreier Betrieb mit sehr langen Standzeiten möglich.
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06.-09.09.2022 Eine Kooperation von Wiley und der DPG.
Vakuum in Forschung und Praxis
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